1200度原子层气相沉积系统

 型号

ALD-TL1200-PE -I

ALD-TL1200-PE -II  

ALD-TL1200-PE -III

ALD 控制面板

1 、5路控制温控系统，可以加热ALD里管路和ALD容器内液体

2、2路气体脉冲交替控制系统（交替时间、交替次数等、用单片机或PLC 控制能够达到ms）

ALD阀门

1、能够在不到 5 ms 内完成阀门开启或关闭

2、高速执行下的超高循环寿命、在产品评估是循环次数超过了25000000次

3、耐 热 执 行 器 、耐 温 高 达200°C（392°F）

ALD原理

ALD化学气相沉积是将不同的反应前驱物以气体脉冲的形式交替送入反应室中并在沉积基体上化学吸附并反应而形成沉积膜的一种方法（技术）

源瓶

源瓶特点

1、所用管件采用316L不锈钢，内部经400目机械抛光和电化学抛光，Ra≤0.25μm。

2、阀门采用美国世伟洛克球阀或隔膜阀。

3、密封垫片采用纯银镀镍垫片。

4、氦质谱检测泄漏率≤1.0*10mba L/s。

^{_{5、可盛装化学品纯度≥99.9995%。}}

^{_{6、总残余元素量≤50PPb。}}

ALD-PECVD简图

1、 2个石英容器与ALD管路连接

2、 2个ALD阀门、控制2路管道交替脉冲输入

3、多根加热管给ALD管道和石英容器加热、保证被汽化液体保持汽化状态进入反应区域。

4、多个球阀控制管路的通过。

5、多个旁通支路、可以通气其他气体或运载气体。

 功率

3.5KW

TL1200 管式华亿网页版_华亿（中国）官方

  华亿网页版_华亿（中国）官方管尺寸

Dia 60(OD) X1800mm

Dia 80(OD) X1800mm

Dia 100(OD) X1800mm

外形尺（LXDXH）

1300X410X610

1300X410X610

1300X410X660

电源电压

220V

相数

单相

加热元件

国产优质电阻丝（可选配瑞典Kanthal A1进口电阻丝）  点击进入资料下

控制方式

 采用宇电程序控温仪表（标配）

1、30段程序控温智能PID调节。

2、具有过温保护 断偶保护过温或断偶时电华亿网页版_华亿（中国）官方加热电路自动切断,，（当电华亿网页版_华亿（中国）官方温度超过1200度或热电偶烧断时，

主电路上的交流继电器会自动断开，主电路断开，面板上ON灯熄灭，OFF灯亮，有限的保护电华亿网页版_华亿（中国）官方）。

3、带有485 通讯接口（选购软件时标配）

4、具有断电保护功能，即断电后再给电启动华亿网页版_华亿（中国）官方子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时华亿网页版_华亿（中国）官方温开始升。

5、仪表具有温度自整定的功能

（更换进口仪表，需要另外付费，选购）

FP93控温仪表                          欧陆仪表                   触摸屏仪表

（日本岛电）

控温模式

智能PID

断偶保护和显示

有

过温保护

有

过流保护

有

控制精度

+/- 1 ℃

触发器

移相触发

电器

浙江正泰

可控硅

106/16E 德国西门康

最高温度

1200 ℃

额定温度

1100 ℃

升温速率

≤20 ℃/ Min （可根据要求修改）

推荐升温速率

≤10℃/ Min

热电偶型号

K  型

加热段长度

440mm

电器认证

四周表面温度

≤45℃

射频电源

（等离子体发生器）

功率输出范围

  0-500W

最大反射功率

200W

工作频率

射频：13.56MHZ±0.005%

功率稳定度

 +/-0.1%

谐波分量

≤-50dbc

射频区域宽度

0-600mm 可调

匹配方式

 自动

冷却方式

 分冷

 噪声

 <50dB

射频接口

 50Ω   N-type

输入电源 

 208-240V  50/60HZ

GX供气系统主要参数

质量流量计

量程和气体

  5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM  （你可以任意选择以上量程和所通气体的类型）

耐压

3MP

流量控制精度

±1.0%F.S

最大工作（使用）压力

0.3MPa

线性

±0.5%F.S.

重复精度

±0.2% F.S

路数

   1 、2、3、4、5、6、7、8 路（可任意选择几路）

接头类型

 双卡套不锈钢接头

系统工作压力范围

0.1~0.5 MPa

工作温度

 5-45℃

压力华亿网页版_华亿（中国）官方表表

-0.1~0.15MPa    0.01MPa/格

静态混气室

 Dia50 X 400MM

接口

 Dia6  / 1/4”

VS-0.1抽气系统

方案一或方案二任选一个

电源

  220V

尺寸

 650X650X600    /    650X650X300

波纹管

 KF25X1000mm

用该系统抽华亿网页版_华亿（中国）官方管华亿网页版_华亿（中国）官方度可达

 10 -1Pa

华亿网页版_华亿（中国）官方挡板阀

 KF25

VRD-8华亿网页版_华亿（中国）官方泵 

方案一

型号

VRD-8

  极限分压强

5X10-2 Pa

   进排气接口

 KF25

    电机转速

1440RPM

抽气速率

 2.2L/S

    电机功率

0.4KW

Preiffer ACP15无油多级罗茨泵

方案二

型号

ACP15

电源

 AC100-240   50/60HZ

功率

450W

重量

25KG

最高氦气漏率

5 · 10-8 Pa m3/s 

抽气速率

14  m3/h

极限压强

0.02Torr

进、排气接口

KF25

电阻华亿网页版_华亿（中国）官方计

（方案一）

   型号

ZDR-1

   功率

25W

  华亿网页版_华亿（中国）官方度测量范围

0.1-10 5 Pa

   电阻硅

ZJ-52T

瑞典（INFICON）

  皮拉尼陶瓷电容华亿网页版_华亿（中国）官方计

（方案二）

     型号

PCG554

  输入电压

 24V  1A DC（配有220V变压器）

华亿网页版_华亿（中国）官方计接口

KF16

数字显示

数字显示（屏幕尺寸为20x14mm），其数据显示单位为torr

产品尺寸

46mm×28mm×126mm ( L x W x H)

重量

5 lbs

检测气体

可检测各种气体，包括混合气体，测量精确、重复性好。

是否防腐

防腐

响应时间

≤30ms

测量范围

3.8x10-5 -1125 Torr.

分子泵机组（选购）

（方案一或方案二任选一个）

机组输入电压

380V /220V

波纹管

KF40X1000

华亿网页版_华亿（中国）官方挡板阀

KF40

机箱尺寸

600X600X600

分子泵

（方案一）

 分子泵型号

  FJ620

  输入电压

 380V

  分子泵进气口法兰

  DN160

分子泵抽气速率L/S（对空气）

  600

分子泵极限压强（Pa)

6×10-7

冷却方式

 水冷

冷却水压（MPa）

 0.1-0.2

冷却水温度

<25℃

环境温度

0~40℃

建议启东压强

<100pa

分子泵前级华亿网页版_华亿（中国）官方泵TRP-24

(FJ620分子泵必须要配此前级泵)

（方案二） 

功率

0.75KW

电压

380V

转速

1450rpm

进气口径

 KF25/KF40

前机泵抽气速率（L/S）

6

极限压强

4X10 -2Pa

德国Pfeiffer华亿网页版_华亿（中国）官方泵

（方案二） 

电压

220V

功率

110W

抽气接口

KF40

重量

150KG

前机泵抽速

0.9m 3/ h

抽气速率（N2）

33L/S

复合华亿网页版_华亿（中国）官方计

复合华亿网页版_华亿（中国）官方计型号

ZDF

 电源

 220V   55W

控制精度

± 1%

 华亿网页版_华亿（中国）官方计测量范围

10-5 -10 5 Pa